- 차세대 반도체 검사관련 기술에 국내업체들의 진출 확대

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│ 현재 반도체 패키지 공정이 완료된 후에 주로 실시하는 각종 검사 │
│작업을 웨이퍼 상태에서 수행하여 조립공정 이전에 칩의 불량여부를 │
│판별할 수 있도록 하는 웨이퍼 레벨 검사기술이 향후 전체 반도체 검사│
│기술 분야를 이끌어갈 차세대 기술로 부상하고 있다. │
│ │
│ 이에 따라 반도체 검사 기술 분야에 대한 관심이 증가하고 있으며 │
│최근 국내 중소업체들이 웨이퍼 레벨 테스트 기술을 포함하는 각종 │
│반도체 검사관련 기술의 개발에 성공하여 검사관련 장비업체로 진출 │
│하거나 사업을 다각화하는 일이 늘어나고 있다. │
│ │
│ 그러나 이 분야는 이미 기술경쟁력을 확보하고 시장을 선점하고 있는│
│일본업체들과의 경쟁이 심할 것으로 생각된다. │
│ │
│ 95년부터 99년까지의 국내업체의 특허출원 현황을 살펴보면 주요 │
│반도체 소자업체 이외의 중소업체들의 출원 비율이 현저히 낮다는 문제│
│점이 있다. │
│ │
│ 따라서 관련기술 개발에 따르는 특허출원이 뒤따를 수 있도록 업계의│
│관심과 정부의 지원이 요구된다고 하겠다. │
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○ 최근 세계 반도체 업계의 호황에 따라 국내 반도체산업의 발전도
가속화되고 있으며 현재까지 메모리 칩 생산에 국한되어 있던 국내
반도체 산업은 반도체 장비 관련 분야의 발전으로 확산되는 경향을
보이고 있다. 아울러 이제까지 거의가 수입에만 의존하던 반도체
검사기술 분야의 관련 장비들에 대한 업계의 관심이 증가하고 있다.
이 분야에서는 현재 반도체 패키지 공정이 완료된 후에 주로 실시하는
각종 검사 작업을 웨이퍼 상태에서 수행하여 조립공정 이전에 칩의
불량여부를 판별할 수 있도록 하는 웨이퍼 레벨 검사기술이 향후 전체
반도체 검사 기술 분야를 이끌어갈 차세대 기술로 부상하고 있다.
현재까지 반도체 제조공정에서의 비용을 줄이는 문제는 계속적인 기술
개발로 해결되어 왔으나 점차 반도체 검사공정에서의 비용이 증가하게
되어 이를 절감할 수 있는 혁신적인 기술 개발이 요구되어져 왔다.
일본에서 처음 소개된 웨이퍼 레벨 테스트 기술은 그동안 해결되지
않은 각종 기술적인 문제들로 인해 그 도입여부가 불확실한 상황이
었으나 최근 모토롤러, 삼성전자 등 반도체 분야 선도업체들이 이에
대한 기술연구 및 관련 시스템의 도입을 추진하는 등 웨이퍼 레벨
테스트 기술의 상용화 가능성이 점차 커지고 있다.

이러한 요구에 따라 최근 국내업체들이 웨이퍼 레벨 테스트 기술을
포함하는 반도체 검사관련 기술의 개발에 성공하여 검사관련 장비
업체로 진출하는 일이 증가하고 있다. 그러나 일본업체들과의 경쟁이나
특허권 문제가 우려되는 부분의 하나이다.

우선 반도체 검사관련 기술에 대한 최근 5년간의 특허출원 동향을
살